*1 該數值是從鏡頭結構件表面到鏡頭測量范圍的中心點的數值;
*2 該數值是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鎢鋼標準量塊的數值,樣本數200000,積分時間400μs、手動調光信號強度至50%,滑動平均濾波窗口大小為128,該數值為3·σ。
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 12V供電狀態下,雙通道處于觸發情況下的電流值(無負載情況)
]]>