*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%; *2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz; *3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz; *4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 12V供電狀態下,雙通道處于觸發情況下的電流值(無負載情況)