
本文首先從物理光學(xué)與信息論角度解釋其原理;其次闡述海伯森傳感器在光、機(jī)、電、算一體化系統(tǒng)中關(guān)鍵技術(shù)突破,繼而對其核心性能參數(shù)(重復(fù)精度、抗干擾能力、測量速度)進(jìn)行分析,最后通過(玻璃、半導(dǎo)體、膠路等)領(lǐng)域的典型應(yīng)用案例,具體驗證在線/離線檢測場景下的有效性與優(yōu)越性,并討論未來其發(fā)展方向。
三維形貌的非接觸式光學(xué)測量是現(xiàn)代質(zhì)量管控的主流方法。現(xiàn)有技術(shù)如激光三角測量(精度受環(huán)境影響較大)、結(jié)構(gòu)光投影(復(fù)雜表面影響精度)等,或因精度而犧牲速度、方向受限而檢測有死角等。尤其在高速在線檢測,對其技術(shù)有著更高要求,使其技術(shù)無法突破,頻頻面臨技術(shù)瓶頸。
海伯森技術(shù)(深圳)有限公司通過技術(shù)創(chuàng)新,成功開發(fā)了基于線共聚焦的3D線光譜共焦傳感器系列產(chǎn)品,將點共焦改進(jìn)為線共焦,配合高精度掃描機(jī)臺,實現(xiàn)了從點到線、再從線到面的快速三維形貌重建。這種技術(shù)突破不僅顯著提高了檢測效率,同時保持了光譜共焦技術(shù)高精度和強(qiáng)抗干擾能力的優(yōu)點,為現(xiàn)代制造業(yè)提供了一種全新的高效精密測量解決方案。
一、色散共焦系統(tǒng)核心原理
利用特殊透鏡的色差,將不同波長( λ)的光聚焦在光軸上的不同位置,形成一把由顏色編碼的“光學(xué)尺”;測量時,只有物體表面所在位置對應(yīng)的特定波長光能被精確聚焦并反射,系統(tǒng)通過分析反射光中的峰值波長,即可根據(jù)預(yù)先標(biāo)定的波長-距離關(guān)系,直接、精確地計算出物體的距離或高度。

二、從點到面的逐步形成
將單點成像逐步擴(kuò)展到面成像,主要是將可視范圍內(nèi)所有不同坐標(biāo)的點匯集成面像,那就要區(qū)分XY的光譜信號。
海伯森用以下方式來解決此類問題
海伯森同軸線光譜傳感器從“點”到“面”的逐步形成,是一個基于核心技術(shù)原理、通過精密光學(xué)與機(jī)械系統(tǒng)集成、最終實現(xiàn)三維形貌重構(gòu)的系統(tǒng)性工程。其起點是點光譜共焦技術(shù)的成熟應(yīng)用。該技術(shù)的核心原理是利用白光光源通過特殊色散透鏡,形成一組按波長在光軸上精確聚焦的焦點序列。傳感器通過分析被測表面反射光的光譜,精確判定其波長成分,從而將光的波長信息轉(zhuǎn)化為精確的距離信息,實現(xiàn)對單個點的納米級精度測距。這一階段的突破在于解決了對高反光、透明、多層玻璃等復(fù)雜材質(zhì)的單點精密測量難題。
然而,單點測量效率低下,無法滿足對物體表面形貌進(jìn)行快速掃描的需求。于是,技術(shù)實現(xiàn)了從“點”到“線”的關(guān)鍵跨越。海伯森通過精妙的光學(xué)設(shè)計,將點光源擴(kuò)展為一條狹長的線白光。這條線白光并非簡單的一條光帶,而是由數(shù)千個緊密排列的、獨立的測量“點”構(gòu)成,每個點都遵循光譜共焦原理。傳感器內(nèi)部的精密光譜儀可以并行處理整條線上所有反射點的光譜信號,從而在一次曝光瞬間,同時獲取一條直線上數(shù)千個點的三維坐標(biāo)(X, Z軸信息)。這就是HPS-LCX系列同軸線光譜共焦傳感器,其“同軸”設(shè)計使得測量光線與被測表面法線方向一致,徹底消除了測量盲區(qū),即使對深孔、陡峭邊緣也能進(jìn)行完美測量。
最終,從“線”到“面”的形成,依賴于一維掃描運動與強(qiáng)大的數(shù)據(jù)拼接技術(shù)。當(dāng)傳感器搭載的線白光,通過機(jī)械軸帶動或本身在高速產(chǎn)線上移動,相對于被測物體進(jìn)行勻速掃描時,它便會以極高的頻率(如每秒數(shù)萬線)連續(xù)采集無數(shù)條相鄰的測量線數(shù)據(jù)。每一條線都提供了物體一個橫斷面的輪廓信息。上位機(jī)系統(tǒng)接收到的海量點云數(shù)據(jù),再根據(jù)掃描運動的精確軌跡(由編碼器精確定位),將每條線的數(shù)據(jù)按其空間位置進(jìn)行精準(zhǔn)對齊與拼接。這個過程如同“織布”,一條條“線”被緊密地編織在一起,最終構(gòu)建出完整、連續(xù)且包含豐富高度信息的三維表面形貌圖(即“面”)。至此,海伯森傳感器完成了從孤立“點”到輪廓“線”,再到完整三維“面”的轉(zhuǎn)變,實現(xiàn)了對物體表面微觀到宏觀的綜合精密測量能力。
三、性能系統(tǒng)分析
3.1 測量精度與分辨率
海伯森同軸線光譜傳感器在測量精度方面表現(xiàn)卓越,其Z軸重復(fù)精度最高可達(dá)0.1μm,X方向最小點間隔為1.1μm(LCX1000型號)。這一高精度特性使其能夠檢測微小的表面形貌變化,如PCB過孔的深度差異、芯片焊點的高度變化等。
在實際應(yīng)用中,如PCB過孔檢測案例所示,傳感器設(shè)置橫向測量點2048個,采樣點間隔1.1μm,線間隔4μm,能夠清晰分辨過孔的微觀特征。通過3D點云數(shù)據(jù)的顏色區(qū)分,可以直觀顯示PCB板不同位置的高度變化,精度足以滿足高速PCB對過孔深度的嚴(yán)苛要求。
高精度的實現(xiàn)得益于海伯森的幾項核心技術(shù):一是采用狹縫濾光器置于第二色散透鏡組的焦平面處,有效濾除非聚焦波長的雜散光,提高信噪比;二是利用共軸光路設(shè)計減少像差和畸變;三是專利的算法處理技術(shù),能夠準(zhǔn)確將光譜信號轉(zhuǎn)換為位置信息。
3.2 測量效率與速度
在工業(yè)檢測應(yīng)用中,測量效率直接影響到生產(chǎn)節(jié)拍和檢測成本。海伯森同軸線光譜傳感器采用線掃描方式,一次性獲取整條線2048個點的三維數(shù)據(jù),相比單點掃描方式,效率提升數(shù)個數(shù)量級。HPS-LCX1000最高掃描速率可達(dá)35,000線/秒,而更新的LCX3000型號更是實現(xiàn)了超高速掃描能力,大幅提高了檢測效率。
在實際部署中,傳感器通常配合機(jī)臺掃描運動或固定于高速產(chǎn)線上,實現(xiàn)整個物體表面的三維形貌重構(gòu)。例如,在芯片貼片檢測中,傳感器從基板最左側(cè)開始直線掃描,快速完成整個基板多個檢測區(qū)域的數(shù)據(jù)采集與處理。這種高效率使傳感器能夠適應(yīng)在線檢測的高速節(jié)拍,實現(xiàn)對每個工件的全檢而非抽檢,顯著提升產(chǎn)品質(zhì)量控制水平。
3.3 材質(zhì)適應(yīng)性與環(huán)境穩(wěn)定性
海伯森同軸線光譜傳感器的一大優(yōu)勢是其卓越的材質(zhì)適應(yīng)性。由于采用光譜共焦原理,其測量結(jié)果基于波長信息而非光強(qiáng),因此不受物體表面顏色、反光特性影響。這一特性使其能夠測量傳統(tǒng)激光傳感器難以應(yīng)對的材料,包括高反光金屬鏡面、強(qiáng)吸光黑色橡膠、透明玻璃和薄膜等。
在芯片貼片檢測案例中,傳感器成功應(yīng)對了高反光基座、黑色封裝材料以及透明膠水等多種材質(zhì)共存的應(yīng)用場景。實驗表明,即使是同時包含黑色吸光材質(zhì)、高反光材質(zhì)、透明材質(zhì)的復(fù)雜工件,傳感器也能實現(xiàn)精確測量,解決了傳統(tǒng)檢測方式在面對多材質(zhì)混合物體時的難題。
此外,海伯森傳感器表現(xiàn)出良好的環(huán)境穩(wěn)定性。采用波長調(diào)頻信號,對環(huán)境光干擾不敏感,適合在工業(yè)現(xiàn)場復(fù)雜光照環(huán)境下使用。光纖傳輸設(shè)計還使其抗電磁干擾能力強(qiáng),傳輸距離遠(yuǎn),便于系統(tǒng)集成。
3.4 系統(tǒng)集成與數(shù)據(jù)輸出
海伯森同軸線光譜傳感器采用傳感頭與控制器分離的設(shè)計方案。傳感頭通過光纖與控制器連接,控制器負(fù)責(zé)光源提供、光譜分析和數(shù)據(jù)通信。這種設(shè)計使傳感頭可以做得小巧緊湊,便于集成到自動化設(shè)備中。
在數(shù)據(jù)輸出方面,傳感器一次掃描可同步輸出二維灰度圖像和三維點云數(shù)據(jù)。二維灰度圖像反映物體表面的光強(qiáng)分布,可用于分析表面瑕疵、紋理特征;三維點云數(shù)據(jù)則包含每個測量點的高度信息,可用于測量平面度、高度差、體積等三維參數(shù)。這種豐富的數(shù)據(jù)輸出為用戶提供了全面的檢測信息,便于實現(xiàn)復(fù)雜的質(zhì)量控制需求。
系統(tǒng)的模塊化設(shè)計也提高了可維護(hù)性和可擴(kuò)展性。
四、海伯森應(yīng)用案例與實踐
4.1 玻璃制品外觀與尺寸在線全檢方案
挑戰(zhàn):玻璃制品種類繁多(涵蓋平面、曲面、異形等)、材質(zhì)特殊(透明/高反光)、缺陷類型復(fù)雜(含劃傷、氣泡、雜質(zhì)、崩邊、裂紋等),且生產(chǎn)節(jié)拍極短(<3s/件),需同步檢測外形尺寸、厚度、平面度、輪廓度及各類表面與內(nèi)部缺陷。
解決方案:采用海伯森高精度線光譜共焦傳感器集成于產(chǎn)線上方,配合高速掃描機(jī)臺,對傳送帶上連續(xù)通過的玻璃制品進(jìn)行線掃描。系統(tǒng)實時重建玻璃制品完整的三維模型與二維灰度圖像,同時基于多維度特征精準(zhǔn)識別表面劃傷、內(nèi)部氣泡、邊緣崩缺等各類缺陷。
價值:實現(xiàn)透明/高反光材質(zhì)制品的在線100%全自動質(zhì)檢,徹底替代人工目檢與抽樣測量,有效杜絕帶缺陷品流入下道工序。全流程檢測數(shù)據(jù)實時記錄,為后續(xù)工藝參數(shù)優(yōu)化與模具維護(hù)提供數(shù)據(jù)支撐。

4.2 膠路涂敷在線全檢方案
挑戰(zhàn):膠路形態(tài)多樣(含點膠、線涂、曲面敷料等),膠體特性復(fù)雜(透明/半透明、反光、顏色多變),工藝缺陷類型多(含斷膠、溢膠、氣泡、高度不均、寬度超差等),且生產(chǎn)節(jié)拍要求高(<2s/件),需同步檢測膠路寬度、高度、輪廓形狀、敷膠面積及連續(xù)性等關(guān)鍵指標(biāo)。
解決方案:采用海伯森高精度3D線光譜共焦傳感器集成于點膠產(chǎn)線上方,配合高速掃描系統(tǒng),對流水線上通過的每個產(chǎn)品的膠路進(jìn)行三維輪廓掃描。系統(tǒng)實時重建膠路的完整三維模型,通過與CAD設(shè)計基準(zhǔn)或標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行比對,精確計算膠路尺寸偏差,并基于智能算法識別斷膠、溢膠、氣泡等各類缺陷。
價值:實現(xiàn)膠路涂敷質(zhì)量的在線100%全自動檢測,徹底替代人工抽檢與離線測量,有效杜絕膠路不良品流入下道工序。全流程檢測數(shù)據(jù)實時記錄并生成工藝分析報告,為點膠參數(shù)優(yōu)化、膠量控制及設(shè)備維護(hù)提供數(shù)據(jù)支撐,顯著提升產(chǎn)品密封性、粘接質(zhì)量及外觀一致性。

4.3 半導(dǎo)體晶圓與芯片封裝在線全檢方案
挑戰(zhàn):半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)高度復(fù)雜(含微米級線路、焊盤、TSV等),材質(zhì)多樣(晶圓、金屬、介質(zhì)層),缺陷類型繁多(含刻蝕殘留、金屬橋接、孔洞、裂紋、污染等),且在潔凈環(huán)境下要求超高速、非接觸式檢測(節(jié)拍<1s/件),需同步測量關(guān)鍵尺寸(CD)、套刻精度、平面度及納米級表面缺陷。
解決方案:采用亞微米級3D線光譜共焦傳感器集成于晶圓傳送平臺上方,配合精密運動控制系統(tǒng),對晶圓表面和芯片封裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行高速線掃描。系統(tǒng)通過多波段光譜分析技術(shù),同步重建器件三維形貌與多層結(jié)構(gòu)圖像,基于深度學(xué)習(xí)算法實時比對設(shè)計規(guī)則(DRC)與CAD基準(zhǔn),精準(zhǔn)識別工藝缺陷和尺寸偏差。
價值:實現(xiàn)半導(dǎo)體制造全過程的全自動、非接觸式100%質(zhì)量監(jiān)控,徹底替代人工抽檢與離線測量,有效杜絕缺陷晶圓流入下道工序。全量檢測數(shù)據(jù)實時生成晶圓缺陷MAP與工藝能力分析報告,為光刻參數(shù)優(yōu)化、CMP工藝調(diào)整和產(chǎn)線良率提升提供數(shù)據(jù)支撐,顯著降低晶圓報廢率。

五. 結(jié)論與展望
作為高端工業(yè)傳感領(lǐng)域的創(chuàng)新者,海伯森技術(shù)在線光譜共焦傳感領(lǐng)域取得了顯著突破。其技術(shù)結(jié)論可概括為:通過成功應(yīng)用光譜共焦原理,海伯森傳感器克服了傳統(tǒng)測量方式在材質(zhì)適應(yīng)性、測量效率和精度上的固有瓶頸。該技術(shù)對強(qiáng)反光金屬、透明玻璃、吸光橡膠等復(fù)雜材質(zhì)均能實現(xiàn)微米級的高精度穩(wěn)定測量,并憑借數(shù)萬次/秒的超高速掃描與多維數(shù)據(jù)同步輸出能力,為3C電子、半導(dǎo)體、汽車制造等行業(yè)的精密檢測提供了高效、可靠的解決方案,顯著提升了工業(yè)質(zhì)量控制的自動化與智能化水平。展望未來,海伯森將繼續(xù)致力于傳感技術(shù)的迭代與創(chuàng)新,不斷優(yōu)化產(chǎn)品的極限性能、緊湊性與成本效益,以適應(yīng)更廣泛的工業(yè)場景;從而不僅鞏固其在國產(chǎn)高端傳感器市場的領(lǐng)先地位,更旨在全球智能傳感技術(shù)浪潮中扮演關(guān)鍵驅(qū)動者的角色,賦能全球制造業(yè)的智能化升級。
]]>海伯森自成立起就將發(fā)展戰(zhàn)略定位于高端智能傳感器品牌平臺建設(shè),先后推出了光譜共焦傳感器HPS-CF系列產(chǎn)品,以及3D線光譜共焦傳感器HPS-LCX系列產(chǎn)品。海伯森以全球市場競爭為基點,助力推動高端光譜共焦產(chǎn)品實現(xiàn)國產(chǎn)化。

海伯森光譜共焦傳感器HPS-CF系列采用特別優(yōu)化的光學(xué)設(shè)計系統(tǒng),選用LED白光作為光源,起到肉眼保護(hù)作用的同時提升了檢測的穩(wěn)定性和產(chǎn)品使用壽命。與傳統(tǒng)模式相比,HPS-CF系列優(yōu)點更加明顯。
1.由于采用同軸的光譜共焦方式,所以能在不影響探頭的安裝方向及移動方向的情況下測量。
2.光點直徑在測量范圍內(nèi)的每個位置都幾乎不會發(fā)生變化,因此可高精度測量。
3.除了同軸的光譜共焦方式之外,照射光的開口亦為廣角。如果能接受部分反射光,就可以通過檢測其反射光的波長位置來進(jìn)行高精度的測量。斜面測量也依舊清晰
4.傳感頭內(nèi)部僅有鏡頭結(jié)構(gòu)設(shè)計。由于沒有電子元件,不發(fā)熱,所以不會產(chǎn)生安裝傳感頭的夾具變形。可實現(xiàn)較為理想的高精度測量。

從產(chǎn)品多元化配置與性能指標(biāo)維度展開綜合評析,海伯森
HPS-CF系列可提供控制器5款和傳感頭25款,傳感頭外徑尺寸可部署空間范圍在5~94mm,產(chǎn)品測量范圍0.2~171mm,控制器與傳感頭的不同搭配可適應(yīng)不同的檢測任務(wù)要求。(注:了解詳情請聯(lián)系我司工作人員)

海伯森光譜共焦傳感器依托自主研發(fā)構(gòu)建技術(shù)壁壘,其軟件算法與部分核心硬件均實現(xiàn)自主開發(fā),從底層架構(gòu)保障產(chǎn)品穩(wěn)定性與操作便捷性。HPS-CF系列具備最多支持四通道同步測量,而特別優(yōu)化的同軸設(shè)計可實現(xiàn)鏡面
±62°和漫反射表面±88°的超大測量角度,有效解決球面材料、3D曲面玻璃等物體的高精度檢測難題,相較于同類產(chǎn)品,HPS-CF系列具備三大差異化優(yōu)勢:

通過“技術(shù)自研+產(chǎn)能管控+服務(wù)深耕”的三維度布局,海伯森在光譜共焦傳感器領(lǐng)域構(gòu)建了從產(chǎn)品性能到交付服務(wù)的全流程競爭優(yōu)勢。

控制器可支持USB/RS232/RS422/RS485通訊讀取檢測數(shù)據(jù),此外,用戶還可通過采用一體加工成型的夾具簡單設(shè)置實現(xiàn)超高精度的雙頭測厚。可定制IP67工業(yè)外殼防護(hù)則提升了對檢測環(huán)境的適應(yīng)性,滿足了客戶復(fù)雜檢測場景的應(yīng)用需求的同時,大幅提升了生產(chǎn)效率。
據(jù)了解,某制造企業(yè)采用集成HPS-CF系列的在線檢測方案實現(xiàn)產(chǎn)品檢驗的自動化升級后,每條產(chǎn)線可替代三個工位,有效節(jié)省了用工成本,設(shè)備運行穩(wěn)定,產(chǎn)線循環(huán)時間加速,此外高精度在線檢測使得產(chǎn)品良率提升至90%以上,大大提升了企業(yè)生產(chǎn)效能。

通常在光譜共焦傳感器的實際應(yīng)用中,生產(chǎn)的環(huán)境、測量的項目和成本控制等因素影響產(chǎn)品的最終選型。比如測量芯片尺寸、玻璃R角、液位高度和零件孔徑等,不同產(chǎn)品的不同檢測項目其所處工作環(huán)境也不同,選型過程中除了要考慮產(chǎn)品量程、分辨率、運行速率等關(guān)鍵參數(shù),還需要考慮操作環(huán)境濕度要求和溫度要求、抗震程度等。
我們在全國多個核心城市設(shè)有本地化服務(wù)據(jù)點,構(gòu)建起覆蓋廣泛的區(qū)域服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。通過在成都、江蘇、武漢等城市設(shè)立常駐辦事處與技術(shù)服務(wù)中心,實現(xiàn)服務(wù)資源的區(qū)域化部署,確保能夠快速響應(yīng)不同地區(qū)客戶的需求。這種本地化布局不僅拉近了與客戶的空間距離,更能深入理解區(qū)域市場特性,為各地客戶提供貼合實際需求的解決方案與技術(shù)支持,讓專業(yè)服務(wù)觸手可及。聯(lián)系我們解鎖更多微米級測量解決方案:申請免費樣品測試、預(yù)約一對一技術(shù)咨詢。讓我們以光為尺,丈量每一份精密需求,共同奔赴智能制造的無限可能。
]]>3D視覺技術(shù)通過非接觸性、高速性、數(shù)據(jù)完整性三大核心優(yōu)勢,解決了接觸式測量在效率、精度、適應(yīng)性上的瓶頸,尤其適合大批量生產(chǎn)、復(fù)雜結(jié)構(gòu)檢測、高附加值產(chǎn)品場景。在工業(yè)檢測領(lǐng)域,3D視覺已成為主流趨勢,推動“智能制造”向自動化、智能化方向深度發(fā)展。

盡管3D視覺檢測技術(shù)路徑多元,但不同設(shè)備在原理機(jī)制與硬件架構(gòu)上差異顯著,目前能夠同時滿足高精度檢測、大視野覆蓋與高速檢測節(jié)拍等多重要求的產(chǎn)品仍較為稀缺。若一味追求檢測效率與生產(chǎn)節(jié)拍,往往可能導(dǎo)致檢測精度的妥協(xié);然而,隨著市場對產(chǎn)品品質(zhì)的需求持續(xù)升級,外觀檢測精度標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提高。因此,企業(yè)在工業(yè)產(chǎn)線規(guī)劃中,需結(jié)合具體項目的檢測目標(biāo)、工況條件及成本預(yù)算,對檢測系統(tǒng)的適配性進(jìn)行綜合評估,從而選擇既能平衡效率與精度、又符合經(jīng)濟(jì)性的解決方案。
不同的產(chǎn)品在特性和應(yīng)用上不盡相同,光譜共焦法對材料的漫反射能力、表面粗糙度及單一反射界面要求較高,而光檢測雖然涵蓋多種技術(shù),不同技術(shù)對材料的光學(xué)特性(如反射、折射、散射等)要求因原理而異,適配性更廣泛,但檢測結(jié)果容易受光強(qiáng)干擾,不適合拋光/鏡面等材質(zhì)的檢測。采用主動立體視覺方法的結(jié)構(gòu)光技術(shù)通過主動投射可控光學(xué)圖案(如條紋、編碼圖案等),相較于被動立體視覺(僅依賴環(huán)境光),在環(huán)境兼容性和檢測精度上具有顯著優(yōu)勢,以3D閃測傳感器為例,它采用了光學(xué)成像(CMOS感光元件、彩色投影單元、遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng))、結(jié)構(gòu)光、AI算法(解碼/投光/圖像優(yōu)化)及高速數(shù)據(jù)處理與傳輸(高性能控制器+光纖)等技術(shù),這些技術(shù)融合使3D閃測傳感器既能在環(huán)境復(fù)雜的工業(yè)現(xiàn)場穩(wěn)定工作,又能滿足微米級精度的快速檢測需求,成為半導(dǎo)體封裝、新能源電池、3C精密制造等領(lǐng)域的核心檢測工具。
就3D閃測傳感器從技術(shù)角度看,是一種跨學(xué)科的工業(yè)檢測應(yīng)用系統(tǒng),3D閃測傳感器的設(shè)計需融合光學(xué)、電子、機(jī)械、算法、圖像處理等多領(lǐng)域技術(shù),同時兼顧工業(yè)場景的可靠性和智能化需求,因而造就了技術(shù)瓶頸高,研發(fā)難度大等問題。值此一提的是,國內(nèi)高端工業(yè)傳感器制造企業(yè)海伯森突破了技術(shù)壁壘,于2022年發(fā)布了中國首臺3D閃測傳感器“大菠蘿”HPS-DBL60,經(jīng)過近年來不斷改進(jìn),技術(shù)更是有了顯著提升。

海伯森這款傳感器之所以帶“閃測”二字,是該款傳感器能夠在極短的時間內(nèi)完成62×62mm工作區(qū)域的2D尺寸和3D輪廓的測量。這種快速測量的能力就像“閃電”一樣迅速。而實現(xiàn)這一結(jié)果主要得益于產(chǎn)品從結(jié)構(gòu)、軟件算法和硬件配置方面的全方面優(yōu)化。
I該款傳感器在結(jié)構(gòu)上:
1.采用業(yè)界頂級的CMOS感光元件和超低畸變遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),一次拍攝即可得到被測工件XYZ三維高精度數(shù)據(jù)。在高速實時檢測下,亦可實現(xiàn)20um絕對測量精度和1um的重復(fù)精度。
2.采用對稱式多角度投射單元,不受方向限制,大視野,面檢測,全覆蓋,無死角。
既可檢測工件的2D尺寸,還可測量工件的3D輪廓、體積及高度等特征,

II該款傳感器在軟件算法上:
1.高效AI軟件算法配套
XY間隔平均化處理,控制成像系統(tǒng)個體差異。
全新3D輪廓處理和2D圖像優(yōu)化算法。
自研投光算法,可減輕多重反射的影響和減少光澤部位的無效像素。
2.完備SDK及一站式軟件支持,系統(tǒng)簡單,易于集成;體積小,安裝使用便捷。

III該款傳感器在配套上:
傳感頭和配套的高性能控制器HPS-NB3200之間采用40G光纖進(jìn)行高速數(shù)據(jù)傳輸

在流水線全速運轉(zhuǎn)下,既要跟上產(chǎn)線節(jié)拍,又要確保檢測精度。尤其當(dāng)檢測對象為具有復(fù)雜幾何形狀的材料表面時,傳統(tǒng)檢測效率低,精度低,立體感低等問題更加顯著,難以勝任如此高要求的任務(wù)。使用海伯森3D閃測傳感器替換傳統(tǒng)檢測方式,可大大降本增效。
以手機(jī)生產(chǎn)為例,需檢測的缺陷類型涵蓋壓痕、劃痕、崩角、污漬等數(shù)十種微觀瑕疵,同時還需完成字符識別、孔徑測量、裝配間隙檢測等復(fù)雜任務(wù)。

?“大菠蘿”HPS-DBL60檢測手機(jī)中框?
除了手機(jī)外觀的檢測,在PCB檢測領(lǐng)域,3D閃測傳感器同樣展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。由于PCB板采用表面貼片技術(shù),元器件密集且微小,表面深度信息復(fù)雜,傳統(tǒng)三角法測量易因遮擋形成檢測盲區(qū)。海伯森3D閃測傳感器憑借多角度立體投光與寬視野檢測能力,可對PCB板進(jìn)行無死角掃描,精準(zhǔn)捕捉元件貼裝偏差、焊盤缺陷等微觀問題,其62mm×62mm的檢測視野不僅減少了重復(fù)檢測耗時,更通過實時3D點云數(shù)據(jù)全面還原板面形貌,顯著提升PCB產(chǎn)線的檢測效率與缺陷檢出率。

?“大菠蘿”HPS-DBL60檢測電路板?
在智能制造對精度與效率要求不斷攀升的當(dāng)下,海伯森3D閃測傳感器以創(chuàng)新技術(shù)為核心,打破傳統(tǒng)檢測的瓶頸,為工業(yè)檢測帶來了全新的解決方案。從手機(jī)精密零部件的微米級檢測,到PCB復(fù)雜表面的無死角掃描,它以“閃測”的速度與“精準(zhǔn)”的品質(zhì),努力推動著生產(chǎn)制造向智能化、高效化邁進(jìn)。未來,海伯森將持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā),不斷優(yōu)化產(chǎn)品性能,在更多領(lǐng)域發(fā)揮技術(shù)優(yōu)勢,助力企業(yè)降本增效,為工業(yè)制造的高質(zhì)量發(fā)展注入源源不斷的動力。
]]>HPS-3D160 Pr0、HPS-3D640面陣固態(tài)激光雷達(dá)基于ToF(Time-of-Flight)原理,集成了精密的紅外鏡頭和激光照明系統(tǒng),內(nèi)置高性能處理器及專業(yè)的數(shù)學(xué)算法,通過一次拍攝即可生成3D點云數(shù)據(jù)并通過高速通訊接口進(jìn)行實時傳輸。
HPS-3D系列產(chǎn)品集成了高功率850nm紅外VCSEL發(fā)射器和高光敏元件。軟件上,產(chǎn)品嵌入了高性能處理器,具有先進(jìn)的數(shù)據(jù)處理,濾波和補(bǔ)償算法,確保穩(wěn)定測量的同時數(shù)據(jù)輸出。硬件上,全固態(tài)式結(jié)構(gòu),工業(yè)級IP67防護(hù)設(shè)計,航空鋁外殼,使產(chǎn)品適用于更多復(fù)雜的環(huán)境。

原理簡介
HPS-3D系列是最新一代基于飛行時間(ToF)原理的高性能固態(tài)激光雷達(dá)傳感器。ToF是Time of Flight的縮寫,直譯為飛行時間,通過給目標(biāo)連續(xù)發(fā)送光脈沖,然后用傳感器接收從物體返回的光,通過探測這些發(fā)射和接收光脈沖的飛行(往返)時間來得到目標(biāo)物距離。
HPS-3D系列產(chǎn)品配備優(yōu)化的照面系統(tǒng)和低失真紅外光學(xué)鏡頭,對90%反光的白色目標(biāo)可測距離可達(dá)8米。靈活的用戶自定義感興趣區(qū)域(ROI)功能,其中HPS-3D 160擁有Simple-HDR,Auto-HDR和Super-HDR模式,使HPS-3D系列適用于各種場景。
產(chǎn)品優(yōu)勢




技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用案例


豐富多元的產(chǎn)品矩陣
海伯森構(gòu)建了極為成熟且多元化的產(chǎn)品線,旗下產(chǎn)品涵蓋多個系列,在不同領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

光學(xué)測量領(lǐng)域的佼佼者
HPS-CF 系列光譜共焦位移傳感器精度可達(dá)納米級,屬于非接觸式位移傳感器。在半導(dǎo)體制造、光學(xué)鏡片加工等對精度要求極高的行業(yè)中不可或缺。例如在半導(dǎo)體芯片制造過程中,對于芯片表面微小結(jié)構(gòu)的厚度測量以及芯片封裝時各層材料間間隙的把控,HPS-CF 系列傳感器能夠提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù),確保產(chǎn)品質(zhì)量符合嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。

HPS-LC 系列基于光譜共焦法原理,是一款非接觸式光學(xué)精密測量傳感器 。它檢測速度快,成像分辨率高,對各種材質(zhì)都展現(xiàn)出極強(qiáng)的適應(yīng)性。在 3C 產(chǎn)品制造中,對于手機(jī)外殼、電腦邊框等零部件的表面缺陷檢測以及尺寸測量,該系列傳感器能夠快速且準(zhǔn)確地完成任務(wù),大大提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量檢測的準(zhǔn)確性。

HPS-DBL 系列采用新型閃測技術(shù),是一款工業(yè)級 2D/3D 復(fù)合光學(xué)精密測量傳感器。它識別精度高、測量視野廣、檢測無死角且拍攝節(jié)拍快,很短時間內(nèi)即可完成 2D 尺寸和 3D 輪廓復(fù)合的高精度在線檢測,實現(xiàn)微米級檢測精度的同時大幅提升檢測效率 。在電路板制造中,對于高度、瑕疵、焊點等檢測要求快速檢測,能夠快速獲取其 3D 輪廓和 2D 尺寸信息,幫助企業(yè)及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品缺陷,優(yōu)化生產(chǎn)工藝。

視覺成像的得力助手
超高速工業(yè)相機(jī) HPS-HSC2K 采用業(yè)界頂級超高速圖像傳感器,具有大像元尺寸、低噪聲、超高幀率、遠(yuǎn)距離傳輸?shù)忍匦?。其支持標(biāo)準(zhǔn)C接口,安裝和使用都極為方便。在機(jī)器視覺領(lǐng)域,如高速流水線上產(chǎn)品的質(zhì)量檢測,HPS-HSC2K 能夠快速捕捉產(chǎn)品瞬間狀態(tài),將高清圖像傳輸給控制系統(tǒng),為及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品瑕疵、確保產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力支持;在運動控制方面,對于快速移動的機(jī)械部件的位置監(jiān)測和軌跡跟蹤,該相機(jī)也能精準(zhǔn)實現(xiàn),保障設(shè)備運行的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

力學(xué)感知的關(guān)鍵設(shè)備
六維力傳感器可實時測量 XYZ 三個方向所受到的力和力矩。在機(jī)器人自動化控制領(lǐng)域,當(dāng)機(jī)器人進(jìn)行精密裝配、打磨、抓取等操作時,六維力傳感器能夠?qū)崟r感知外界作用力和力矩的變化,反饋給機(jī)器人控制系統(tǒng),使機(jī)器人能夠根據(jù)實際情況及時調(diào)整動作,確保操作的精準(zhǔn)性和穩(wěn)定性。比如在電子設(shè)備的精密裝配過程中,機(jī)器人通過六維力傳感器感知零部件之間的裝配力,避免因用力不當(dāng)造成零部件損壞,提高裝配質(zhì)量和效率。

激光傳感的創(chuàng)新產(chǎn)品
激光對刀儀 LCA100:作為最新一代采用聚焦的紫外激光光束為測量媒介的高精度產(chǎn)品,保障了在 CNC 加工中心復(fù)雜工況下仍能穩(wěn)定、迅速、精確地進(jìn)行刀具測量 。在機(jī)械加工行業(yè),刀具的磨損和更換對加工精度和效率影響極大,LCA100 能夠快速準(zhǔn)確地測量刀具的磨損程度和位置,幫助操作人員及時調(diào)整刀具參數(shù)或更換刀具,確保加工過程的連續(xù)性和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

激光校準(zhǔn)傳感器 LCB02:可實現(xiàn)沿傳感器xyz三個維度的絕對位置校正和零點復(fù)位,具備良好的抗沖擊和耐久性 。在工業(yè)自動化生產(chǎn)線中,對于各種設(shè)備的位置校準(zhǔn)和零點定位,LCB02 能夠提供可靠的測量和校正,保證設(shè)備運行的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,提高生產(chǎn)線的整體運行效率和產(chǎn)品一致性。

智能感知的前沿產(chǎn)品
固態(tài)激光雷達(dá)基于 ToF 原理,集成了精密的紅外鏡頭和激光照明系統(tǒng),內(nèi)置高性能處理器和專業(yè)的數(shù)學(xué)算法,通過一次拍攝即可生成 3D 點云數(shù)據(jù)并通過高速通訊接口進(jìn)行實時傳輸 。在智能交通領(lǐng)域,它廣泛應(yīng)用于自動駕駛汽車,幫助車輛實時感知周圍環(huán)境,識別道路、障礙物、其他車輛和行人等信息,為自動駕駛系統(tǒng)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持,保障行車安全;在智能物流的 AGV(自動導(dǎo)引車)導(dǎo)航中,固態(tài)激光雷達(dá)能夠幫助 AGV 實時構(gòu)建周圍環(huán)境地圖,實現(xiàn)自主路徑規(guī)劃和避障,提高物流運輸?shù)淖詣踊椭悄芑健?/p>
廣泛深入的行業(yè)應(yīng)用
海伯森的產(chǎn)品憑借其卓越性能,在眾多行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用,助力各行業(yè)實現(xiàn)智能化升級和高效發(fā)展。通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),打造出一系列高性能、高可靠性的傳感器產(chǎn)品,在工業(yè)自動化、精密測量、交通物流、醫(yī)療、科研等眾多領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用,為各行業(yè)的發(fā)展注入了新的活力。隨著科技的不斷進(jìn)步和市場需求的持續(xù)增長,相信海伯森將繼續(xù)秉持 “技術(shù)贏市場,誠信待客戶” 的原則,不斷推出更多創(chuàng)新產(chǎn)品,為全球用戶提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù),在高端智能傳感器領(lǐng)域書寫更加輝煌的篇章。
]]>HPS-LCA100是最新一代采用聚焦的紫色激光光束為測量媒介的高精度激光對刀儀,自研的氣封及精密光學(xué)系統(tǒng)保障了在CNC加工中心復(fù)雜工況下仍能實現(xiàn)穩(wěn)定、迅速、精確的刀具測量
HPS-LCA100集成化的控制器底座使得整體結(jié)構(gòu)更加緊湊,支持多種出線方式讓安裝更加便利,同時減少機(jī)床空間占用。


使用連續(xù)的壓縮氣體通過一個特別設(shè)計的微小激光鉆孔,氣流高速從噴嘴噴出,可清除刀具表面的冷卻液和加工碎屑,保證刀具檢測精度。
形成集中對準(zhǔn)刀具中心的完美氣流
優(yōu)秀的清潔能力
內(nèi)置止流閥,防止切削液

內(nèi)置高性能氣動閥
無需單獨的氣動組件
支持快速更換或清潔
多種出線方式
僅1條電纜和1根氣管連接

HPS-LCA 100 采用405nm的紫色激光擁有更短的波長,可實現(xiàn)更高的測量精度和抗干擾能力,獨特設(shè)計的氣封系統(tǒng)提高對刀儀的使用壽命和可靠性。




Part 1 原理簡介
高速運動目標(biāo)受到自然光或人工輔助照明燈光的照射產(chǎn)生反射光,或者運動目標(biāo)本身發(fā)光,這些光的一部分透過高速成像系統(tǒng)的成像物鏡。經(jīng)物鏡成像后,落在光電成像器件的像感面上,受驅(qū)動電路控制的光電器件,會對像感面上的目標(biāo)像快速響應(yīng),即根據(jù)像感面上目標(biāo)像光能量的分布,在各采樣點即像素點產(chǎn)生響應(yīng)大小的電荷包,完成圖像的光電轉(zhuǎn)換。帶有圖像信息的各個電荷包被迅速轉(zhuǎn)移到讀出寄存器中。讀出信號經(jīng)信號處理后傳輸至電腦中,由電腦對圖像進(jìn)行讀出顯示和判讀,并將結(jié)果輸出。
因此,一套完整的高速成像系統(tǒng)由光學(xué)成像、光電成像、信號傳輸、控制、圖像存儲與處理等幾部分組成。
Part 2 產(chǎn)品優(yōu)勢


Part 3 技術(shù)參數(shù)


Part 4應(yīng)用范圍

高速運動分析

超高速讀碼

印刷/織物缺陷檢測

化學(xué)實驗分析
]]>
原理介紹
海伯森3D閃測傳感器HPS-DBL系列采用超高速投影方式向測量對象上投射出不同波長的特殊圖案,并采集物體表面的圖案信息,配合海伯森HPS-NB3200高性能視覺控制器和內(nèi)置AI解碼算法對數(shù)據(jù)進(jìn)行實時處理,快速得到全視角的彩色高精度2D圖像和3D點云。

產(chǎn)品優(yōu)勢
1.高精度的在線3D檢測
采用業(yè)界頂級的CMOS感光元件和超低畸變遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),一次拍攝就可以得到被測工件的XYZ三維高精度數(shù)據(jù)。
高速實時檢測下,亦可實現(xiàn)20μm絕對精準(zhǔn)測量精度和1μm的重合度。

2.全覆蓋,無死角
采用對稱式多角度投射單元,不受方向限制,檢測無死角。
檢測面視野62mm*62mm,適用于大范圍測量場景,既可檢測工件2D尺寸,也可測量工件的3D輪廓、體積等特征。

3.高效AI軟件算法配套
XY間隔平均化處理,控制成像系統(tǒng)個體差異
全新3D輪廓處理和2D圖像優(yōu)化算法
自研投光算法,可減輕多重反射的影響和減少光澤部位的無效像素
系統(tǒng)簡單,易于集成;體積小。安裝使用便捷

產(chǎn)品參數(shù)

時用時測

錫球檢測

多層斷差檢測

RGB點云圖

芯片焊點檢測
]]>其中,六維力傳感器作為一種能夠同時測量力和力矩的高精度傳感器,因其廣泛的應(yīng)用場景和獨特的技術(shù)優(yōu)勢,正成為智能制造領(lǐng)域的重要工具。特別是在近年來人形機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人和智能裝配等領(lǐng)域的快速發(fā)展,使得六維力傳感器的應(yīng)用前景更加廣闊。
六維力傳感器:解鎖機(jī)器人感知新維度
六維力傳感器是集力和力矩測量于一體的高精度傳感器,能夠同時檢測X、Y、Z三個方向的力和繞這三個軸的力矩,為機(jī)器人提供多維度的力覺感知能力。在智能制造中,六維力傳感器能夠?qū)崟r監(jiān)測機(jī)器人與環(huán)境或物體之間的相互作用力,幫助機(jī)器人實現(xiàn)更精準(zhǔn)的動作控制和更復(fù)雜的操作任務(wù)。
六維力傳感器的核心技術(shù)與優(yōu)勢
六維力傳感器的關(guān)鍵技術(shù)主要集中在技術(shù)實現(xiàn)、性能優(yōu)化、應(yīng)用集成等方面,具體包括:
人形機(jī)器人:六維力傳感器的典型應(yīng)用場景
人形機(jī)器人作為人工智能與機(jī)器人技術(shù)的前沿領(lǐng)域,近年來迎來了爆發(fā)式增長。2025年,隨著多家知名科技公司推出新一代人形機(jī)器人產(chǎn)品,這一領(lǐng)域成為全球科技行業(yè)的焦點。六維力傳感器在人形機(jī)器人中的應(yīng)用,賦予了機(jī)器人更強(qiáng)大的力覺感知能力,使其能夠完成復(fù)雜且精細(xì)的操作任務(wù)。
在人形機(jī)器人的應(yīng)用中,六維力傳感器能夠?qū)崟r監(jiān)測機(jī)器人與環(huán)境或物體之間的力和力矩變化,幫助機(jī)器人實現(xiàn)更自然的交互和動作控制。例如,在抓取物體時,傳感器能夠感知物體的重量和形狀,從而調(diào)整握力和動作。在人形機(jī)器人行走或進(jìn)行高難度動作時,六維力傳感器能夠監(jiān)測腳部和關(guān)節(jié)的力矩變化,幫助機(jī)器人保持平衡和穩(wěn)定。此外,六維力傳感器的高精度特性,使得機(jī)器人能夠完成如精密裝配、醫(yī)療手術(shù)等高難度任務(wù)。
以宇樹機(jī)器人為例,作為國內(nèi)人形機(jī)器人領(lǐng)域的佼佼者,其產(chǎn)品廣泛采用了六維力傳感器技術(shù)。通過在手部、腳部和關(guān)節(jié)等關(guān)鍵部位安裝六維力傳感器,機(jī)器人能夠感知細(xì)微的力和力矩變化,從而實現(xiàn)諸如花樣跳繩的高難度動作,充分體現(xiàn)了六維力傳感器在提升機(jī)器人穩(wěn)定性和精確性方面的技術(shù)優(yōu)勢。
六維力傳感器已成為高性能人形機(jī)器人的標(biāo)配,通常安裝在手腕、腳腕、足底或手部,在運控規(guī)劃、姿態(tài)調(diào)整、力度感知等中起到重要作用,以提升手部操作的靈活性以及腳部行走的穩(wěn)定性,提升人形機(jī)器人在復(fù)雜環(huán)境中的自主性和適應(yīng)性,可以實現(xiàn)在碎石、地磚、草坪、厚地、草坪等不平整地面上穩(wěn)定快速行走,通過全新的腳掌姿態(tài)控制算法以及柔性自適應(yīng)多種地面。
目前特斯拉Optimus、優(yōu)必選Walker X、達(dá)闥科技的小紫XR-4、本田ASIMO、美國宇航局的Valkyrie等,都已采用六維力傳感器來提升機(jī)器人的性能。
以下是六維力傳感器在人形機(jī)器人中的一些關(guān)鍵應(yīng)用和安裝位置:
隨著人形機(jī)器人技術(shù)的不斷突破,六維力傳感器的應(yīng)用場景也將進(jìn)一步拓展,為機(jī)器人智能化發(fā)展注入更強(qiáng)動力。
國產(chǎn)替代與國際市場:六維力傳感器的崛起
在2025年3月31日的深圳國際傳感器展會上,海伯森技術(shù)(深圳)有限公司銷售總監(jiān)單永川發(fā)表了專題演講《國產(chǎn)替代 走向世界 六維力傳感器助力人形機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展》,吸引了眾多行業(yè)專家和觀眾的關(guān)注。


海伯森通過創(chuàng)新設(shè)計和精密制造,實現(xiàn)了傳感器的高靈敏度與長壽命,為機(jī)器人的力覺感知系統(tǒng)提供了可靠的技術(shù)支撐。
海伯森的傳感器產(chǎn)品已通過多項國際認(rèn)證,標(biāo)志著其技術(shù)實力已達(dá)到國際先進(jìn)水平。在國家政策的支持下,國產(chǎn)傳感器企業(yè)如海伯森等正在快速崛起,填補(bǔ)高端傳感器市場的空白。憑借高性價比和技術(shù)突破,國產(chǎn)六維力傳感器正在加速替代進(jìn)口產(chǎn)品,為智能制造提供更可靠的技術(shù)保障,達(dá)到精細(xì)操作的目標(biāo)。

作為國內(nèi)傳感器領(lǐng)域的先行者,海伯森將繼續(xù)發(fā)揮技術(shù)優(yōu)勢,推動六維力傳感器在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。通過與機(jī)器人企業(yè)的深度合作,海伯森致力于為中國智造走向世界提供強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。
未來展望:
六維力傳感器與人形機(jī)器人協(xié)同發(fā)展
未來,六維力傳感器將朝著高精度、智能化、小型化和集成化方向發(fā)展,成為智能制造不可或缺的核心技術(shù)之一。特別是在人形機(jī)器人領(lǐng)域,六維力傳感器的應(yīng)用將更加廣泛,助力機(jī)器人實現(xiàn)更復(fù)雜、更精細(xì)的操作任務(wù)。
通過人工智能算法,六維力傳感器將能夠?qū)崟r分析力和力矩數(shù)據(jù),提供更智能的控制策略。隨著制造工藝的進(jìn)步,六維力傳感器將更加輕便、緊湊,便于集成到更多類型的機(jī)器人中。除了工業(yè)機(jī)器人和人形機(jī)器人,六維力傳感器還將在醫(yī)療機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人、航空航天等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
六維力傳感器與人形機(jī)器人技術(shù)的協(xié)同發(fā)展,不僅推動了智能制造的升級,也為機(jī)器人智能化發(fā)展注入了更強(qiáng)動力。隨著國產(chǎn)傳感器企業(yè)的快速崛起和技術(shù)創(chuàng)新,中國在全球傳感器和機(jī)器人市場中將占據(jù)更重要的地位。未來,六維力傳感器將成為機(jī)器人感知系統(tǒng)的核心技術(shù)之一,助力中國智造走向世界。
